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淨化工程FFU及周邊淨化設備

日期:2019-07-24 09:58   By:admin

分類 | 新聞資訊



空氣潔淨技術是一門新的技術,國際上50年代中期以後才開始發展。當時美國由于原于能工業和精密機械及電子工業的需要發展了污染控制及淨化技術。特别是1957年前蘇聯第——顆人造衛星發射成功,震驚丁美國政府,促使美國加快了宇航工業的發展速度,由此也帶動了污染控制技術的研究和發展。潔淨技術包括工業潔降技術和生物潔淨技術兩大類潔淨室。前者以控制非生物微粒的污染為子要任務,後片則以控制生物微檢的污染為:重要任務。
 
淨化工程FFU及周邊淨化設備
淨化工程FFU及周邊淨化設備
 
 
一、淨化空調系統對維護管理的要求 
 
溫度循環監測每班2次 
濕度循環監測每班2次 
壓差值循環監測每周1次每月1次 
潔淨度循環監測每周1次每3個月1次每6個月1次 
1、氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過濾器後,氣流速度仍不能增加。 
2、高效空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5倍~2倍。 
3、高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。 
當潔淨廠房内采用高效真空吸塵器進行清掃時,必須定期檢查吸塵器排氣口含塵濃度。
 
二、淨化空調的運行管理的日常工作 
 
對淨化空調系統、潔淨室的運行管理主要應做好以下幾項工作:保證潔淨室内要求的空氣溫度和相對濕度;保證潔淨室内潔淨度;制定嚴格的管理規章制度。 
 
1、保證潔淨内要求的空氣溫度和相對濕度 
在潔淨室内,如果空氣溫度過低,不便于工作的正常進行;如果溫度過高,則會使室内工作人員産生過多的汗液,汗液揮發成微小粒子進入空氣中,從而增加了潔淨室内空氣中含塵粒子數,進而使其潔淨度級别有所下降,無法保證工藝條件的要求。 
因此,保證潔淨室内要求的空氣溫度和相對濕度是空調系統進行的必要條件。 
 
淨化工程FFU及周邊淨化設備
淨化工程FFU及周邊淨化設備
 
2、保證潔淨室内潔淨度的措施 
要保證潔淨室内要求的潔淨度,對正常運行的淨化空調系統、潔淨室,必須做到進入潔淨室内的空氣是清潔的,進入潔淨室内的人和物品就應該經過必要的淨化處理,盡量減少人和物帶入潔淨室内的灰塵量。要保證潔淨室内的潔淨度應采取以下主要措施:保證人淨的措施;保證進入潔淨室物料的淨化;保證進入潔淨室内的空氣是潔淨的;保證淨化空調系統的送風量;按要求保證潔淨室内的正靜壓值;盡量減少潔淨室的産塵量;保證對潔淨室内的定期清掃。 
 
1)保證人淨的措施 
 
人體散發的污染物質主要有自身産生的污染物和攜帶物。人淨措施主要包括水洗、換鞋和衣服及空氣吹淋3個方面: 
(1)水洗。用水洗去手、臉甚至全身體表皮臨時附着物和積存的體表排出物。 
(2)換衣、鞋。為了減少從室外帶入潔淨室的污染物,進入潔淨室内的人員一般都在經過換鞋和衣服。至少應将外出鞋、衣服以及多毛的内衣脫掉,對無菌行業還要脫掉全部外出服和内衣、而後換用适合潔淨室或無菌室工作的服裝。外出鞋攜帶污染物最多,須在入口處采取水洗、吸塵和粘着等方式進行處理,以免嚴重污染入口門廳。 
(3)空氣吹淋。空氣吹淋是用高速潔淨空氣吹掃全身服裝及^***表面的臨時附着物,采用水洗、換衣和空氣吹淋3個方面的措施,可以在一定程度上減少人體服裝攜帶的外界污染物,減少因直接接觸而造成的污染,把身體的大部分及内衣與室内空氣隔離開。使頭發與皮膚的脫落物以及内衣的纖維子不容易播散出來、以減少人體在潔淨室内塵粒的散發量。 
 
2)保證進入潔淨室物料的淨化 
 
進入潔淨室内的物料應在運入潔淨室之前進行清洗和必要的淨化處理,以減少物料在潔淨室内的發塵量。進入潔淨室的小件物品一般由潔淨室與外走廊或潔淨室之間(潔淨度級别不同的相鄰房間)通過傳遞窗進入。 
 
3)保證進入潔淨室的空氣是潔淨的
 
淨化空調系統在運行中,所使用的各級空氣過濾器必須是完好而無破損或洩漏。為防止送風系統将不應進入室内的塵粒帶進室内,必須對系統中使用的初效、中效及末端空氣過濾器進行定期的洩漏檢查。 
 
淨化工程FFU及周邊淨化設備
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4)保證淨化空調系統的送風量 
 
保證空調系統的送風量就是保證潔淨室内的換氣次數,以滿足室内氣流組織的需要。淨化空調系統在正常運行時,應定期對系統的送風量進行測定,測點可選在送風機進(出)口處和送風口處。因為系統的送風量在設計時是從能量的消耗量,室内應有的氣流組織等諸方面來綜合考慮的。如果系統送風量過低,則會使潔淨内送風口處的氣流速度降低,從而破壞室内的氣流組織形式,使室内受到污染的空氣無法排出,達不到室内要求的潔淨度等級。 
 
5)按要求保證潔淨室内的正靜壓值。 
 
潔淨室在運行中一般都要求其與鄰室、走廊(包括外走廊)之間保持一定的正靜壓差,即潔淨室内的靜壓值高于鄰室(不同潔淨級别的房間)、走廊的靜壓,以避免鄰室、走廊等含塵濃度較高的潔淨室外部的空氣對其造成污染。因此潔淨室和淨化空調系統在運行中,應注意經常檢查、保養、調整和修理系統中的餘壓閥,以及壓力傳感器、變送器、調節器和執行器,使之處于正常運行狀态,維持室内要求的正靜壓值。 
 
6)盡量減少潔淨室的産塵量。
 
僅僅從淨化空調系統的運行和管理方面來考慮,解決影響潔淨室内潔淨室内潔淨度的外部條件是不夠的,還應解決影響潔淨室内潔淨度的内部原因。在潔淨室内,産生塵埃的因素有兩個:一是設備的運轉,二是操作人員的活動。因此,應從此兩方面控制潔淨室的産塵量。 
 
 
7)保證對潔淨室内的定期清掃 
 
潔淨室運行一段時間後,總免不了在一些死角、壁面、台面上會積存一些塵埃,如果不及時進行清掃,這些塵埃在較大氣流的沖擊或其他某種擾動下,會重新卷入室内空氣中,從而增加了室内空氣塵粒的濃度,使室内空氣的潔淨度等級下降,無法保證工藝的正常進行。因此對潔淨室進行定期的清掃是必不可少的。對潔淨室内部的清掃,可采用分散可集中式真空掃除的方法進行。 
 
FFU集成電路設計優點:潔淨室面積可擴大、潔淨等級高、溫濕度控制精度高等多數潔淨室要求環境潔淨度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統剛好可以最大化滿足這些要求。

淨化工程FFU及周邊淨化設備
 
潔淨室按照回風特點分為三個系統:
 
1.FFU循環系統;
2.循環空調機配合高效送風口系統;
3.循環風機配合濕式密封系統和。
FFU集成電路系統的三種類型
1.最适合半導體制造業的FFU循環系統
FFU循環系統①不僅節省運行空間、潔淨度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生産的情況下随時進行系統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求。
2.最适合小規模潔淨室的FFU循環系統
在小規模低等級要求的潔淨室設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的潔淨室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
3.全能型FFU循環系統
這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔淨室大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔淨室風速、風量調節困難,系統升級改造困難,因此操作靈活性很低。 
 
一、定義不同
 
1、潔淨棚又名潔淨工作棚(無塵棚、淨化棚、操作工作台等),是指在潔淨室内用防靜電網格簾或有機玻璃圍一個小空間,上方采用HEPA及FFU送風單元組成一相對潔淨室較高淨化級别的空間,潔淨棚可配風淋室、傳遞窗等淨化設備;
2、潔淨室是指将一定空間範圍内之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并将室内之溫度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍内,而所給予特别設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室内均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔淨室最主要之作用在于控制産品所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使産品能在一個良好之環境空間中生産、制造,這樣的一個空間我們一淨稱之為潔淨室;

二、材料比較
 
1、潔淨棚框架一般可分為三種:不鏽鋼方通、烤漆鐵方通以及工業鋁型材,頂部及可用不鏽鋼鋼闆、烤漆冷塑鋼闆、防靜電網格簾及壓克力有機玻璃等材料。周圍一般都是采用防靜電網格簾或是有機玻璃,送風部用均采用FFU潔淨送風單元。
2、潔淨室一般采用泡沫彩鋼或是岩棉闆吊頂有立牆,有獨立的空調送風系統,空氣經過初中高效三級過濾,人員及物料配有風淋室及傳遞窗潔淨過濾。
 
淨化工程FFU及周邊淨化設備
淨化工程FFU及周邊淨化設備
 
三、.潔淨棚淨化級别的選擇:
 
比較多的客戶,會選用千級潔淨棚,或萬級潔淨棚,少量客戶會選用百級或萬級。總之,潔淨棚級别的選擇在于客戶對潔淨度的需要而定,但因潔淨棚比較密閉,如選擇潔淨棚級别比較低時,往往會帶來部分副作用:冷量不足,員工在潔淨棚内會感覺比較悶熱,所以實際在和客戶的溝通過程中,需要注意這點。
 
四、潔淨棚與無塵車間的成本比較:
 
1、潔淨棚通常都是建在潔淨室内,所以不需要考慮風淋室、傳遞窗以及空調送風系統,成本與潔淨室比較會大大降低,當然這與潔淨棚所需材料、大小以及潔淨級别有一定的關系。會将潔淨棚建在無塵室之内,但有的客戶不想單獨建無塵車間,在潔淨棚不考慮空調系統及風淋室、傳遞窗等淨化設備的情況下,潔淨棚的成本約是無塵車間造價的40%~60%,這取決于客戶對潔淨棚材料的選擇,以及潔淨棚的大小。需要潔淨的區域越大,潔淨棚與無塵車間的成本相比差别會越小。
 
五、利弊
 
1、A)潔淨棚施工快、成本低、方便拆裝、可重複使用;B)由于潔淨棚通常高度在2米左右,如果使用大量FFU會讓潔淨棚内部噪音大;C)由于沒有獨立的空調送風系統,潔淨棚内部往往會感覺到悶熱;D)潔淨棚如果不建在潔淨室内,因缺少中效空氣過濾器的過濾,高效過濾器相對潔淨室壽命會縮短,這樣頻繁的更換高效過濾器會使成本增加。
2、A)潔淨室施工慢,成本較高;B)潔淨室通常高度在2600MM左右,工作人員在裡面工作不會感到壓抑。
 
淨化工程FFU及周邊淨化設備
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現代生物潔淨技術是在工業潔淨技術的苯礎廣發展起來的。第一個生物潔淨室是1966年1月在美國建立的。現在生物沽淨室已廣泛用于宇航業、潔淨室醫學、制藥、牛物實驗、 遺傳工程和食品工hIL等各方面。在醫學方面,潔淨室千要用于做心髒、腦外科、髒器移植等深部手術的手術室;治療白血病患者、重燒傷病人以及其他對于感染缺乏抵抗力恩有的治療室以及需要在無菌條件下進行操作的血液工作室等。如白血病患者,其體内的白細胞大量是幼稚型胞,潔淨室嚴重喪失對感染的防禦能力,因此在治療期間防止感染是相當重要的。
 

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